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高校微電子潔凈室安全管理前景

返回列表 來(lái)源:未知 發(fā)布日期:2024-05-31 16:12【

基于高校實(shí)驗(yàn)室安全工作者“以人為本、安全第一、預(yù)防為主”的行為方針,旨在建立“健康、安全、環(huán)保”的實(shí)驗(yàn)室科研和教學(xué)工作環(huán)境,圍繞微電子學(xué)科潔凈實(shí)驗(yàn)室的特點(diǎn)和相關(guān)法律法規(guī),給出一系列潔凈室安全管理措施,以提升高校潔凈室的安全隱患防范水平和治理效能。

 

近年來(lái)歐美發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我國(guó)微電子行業(yè)高舉制裁大棒,華為、中興等微電子高科技企業(yè)深受其害,我國(guó)堅(jiān)決走上獨(dú)立自主地發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)的道路,讓我國(guó)微電子行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)、關(guān)鍵材料、關(guān)鍵人才、相關(guān)專利等都牢牢掌握在自己手中;微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展并非一朝一夕,電子元器件的關(guān)鍵性尺寸(Critical Dimension)、缺陷(Defect)等都是微米級(jí)、納米級(jí),所以要求本產(chǎn)業(yè)的工作環(huán)境都是高等級(jí)的無(wú)塵潔凈室。在這場(chǎng)微電子技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)中,高校應(yīng)當(dāng)是技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展的重要陣地。

 

由于國(guó)家政策的支持、產(chǎn)業(yè)的需要,近些年很多大學(xué)紛紛成立了微電子學(xué)院,因此,高校能夠配套建設(shè)、利用并高效安全地管理高等級(jí)的無(wú)塵潔凈室,對(duì)人才培養(yǎng)方面能起到事半功倍的效果。本文結(jié)合筆者對(duì)所在實(shí)驗(yàn)室微電子設(shè)備的管理,包括物理氣相沉積設(shè)備(PhysicalVapor Deposition, PVD)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(Che-mical Vapor Deposition, CVD)、光刻機(jī)、高溫氧化爐等,分析探討潔凈室安全管理方面的一些經(jīng)驗(yàn),對(duì)高校潔凈室的使用提供一些有益的措施。


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